CL-7500

pic-ex-4Характерные особенности:

  • Состоит из двух эксимерных лазеров Модель CL7020 или CL7050 , специальной оптической платформы и синхронизатора
  • Может работать на двух длинах волн, все комбинации генератор-усилитель возможны

Применение:

  • ЛИФ- Спектроскопия
  • Обработка материала с высоким пространственным разрешением

Технические характеристики:

ArF KrF
Длина волны (нм) 193 248
Ширина линии (пм) < 3
Номинальная выходная энергия (мДж) 100 250
Максимальная частота повторения импульсов (Гц)
CL 7520
CL 7550
20
50
Длительность импульса (нс)  ~ 20
Стабильность энергии импульса (сигма, %) < 2
Размер пучка (FWHM, В x Г, мм) 20 x 6
Расходимость пучка  (FWHM, В x Г, мрад) < 0.2
Пространственная когерентность (мм) >5
Временная когерентность (мм) >10
Джиттер (нс) < 2
Размеры (Д x Ш x В, мм) 2000 x 800 x 747
Охлаждение вода 3 л/мин
Питание 380/220В,  50Гц, 7кВт
Газ 1 баллон со смесью
Управление RS 232, Windows