CL-7000

Характерные особенности:

  • Высокая энергия генерируемого излучения
  • Стабилизация выходной энергии
  • Увеличенное время жизни газовой смеси
  • Надежный коммутатор на отечественном тиратроне ТГИ
  • Встроенный монитор энергии
  • Газовая смесь – премикс
  • Компьютерный контроль

Применение:

  • Производство дифракционных структур в оптических волокнах
  • Обработка материалов
  • Laser Lift-Off процесс отделения светодиодных структур от сапфировой подложки
  • Лазерная микро маркировка
  • Импульсное лазерное осаждение материалов в вакуумных камерах

Технические характеристики:

ArF KrF XeCl
Длина волны (нм)* 193 248 308
Конструкция металлокерамика
Предыонизация искровая
Максимальная энергия импульса (мДж) 250 400 300
Средняя мощность (Вт):
CL 7020
CL 7050
CL 7100
5
10
20
8
20
35
6
15
25
Максимальная частота  повторения импульсов генерации (Гц):
CL 7020
CL 7050
CL 7100
20
50
100
Длительность импульса (нс) 17 20 20
Стабильность энергии импульсов (сигма, %)  <2
Размер пучка (FWHM, В x Г мм) 20 x 6 21 x 6 22 x 7
Расходимость пучка (FWHM, В x Г мрад) 4.5 x 1.5 (стабильный резонатор)
Джиттер (нс) < 2
Габариты (Д х Ш х В, мм) 1423 x 375 x 760
Вес (кг) 170
Охлаждение:
CL 7020
CL 7050
CL 7100
воздушное
водяное <1 л/мин
водяное <3 л/мин
Питание:
CL 7020
CL 7050
CL 7100
220 В / 50 Гц, 10 А, не более 1500 ВА**
220 В / 50 Гц, 10 А, не более 1800 ВА**
380 В /50 Гц, 10 А, не более 3500 ВА**
Газ 1 баллон со смесью
Управление RS 232, DOS/Windows

* – возможна работа на длине волны 157 нм

** – возможно исполнение на 110В (220В)/60 Гц

Эксимерные лазеры CL 7000 (pdf. файл)