CL-5000

  Характерные особенности:

  • Компактный эксимерный лазер
  • Стабилизация выходной энергии
  • Увеличенное время жизни газовой смеси
  • Единый модуль
  • Газовая смесь – премикс
  • Компьютерный контроль

Применение:

  • Производство дифракционных структур в оптических волокнах
  • Обработка материалов
  • Лазерная микро маркировка (алмазы, оптические элементы)
  • Лазерная коррекция зрения
  • Спектроскопия

Технические характеристики:

 

ArF KrF XeCl
Длина волны (нм)* 193 248 308
Конструкция металлокерамика
Предыонизация коронная
Максимальная энергия импульса (мДж)
20 40 25
Максимальная средняя мощность (Вт)
CL 5100
CL 5200
CL 5300
2
4
5
4
8
10
2.5
5
7
Максимальная частота (Гц)
CL 5100
CL 5200
CL 5300
100
200
300
Длительность импульса (нс) 8-11
Стабильность энергии импульсов (сигма, %)  < 2
Размер пучка (1/eот максимума, В x Г мм)
12 x 3.5
12 x 4
Расходимость пучка (FWHM, В x Г мрад) 2 x 1 (стабильный резонатор)
Джиттер (нс) < 2
Габариты (Д x Ш x В, мм) 780  x 330  x 583
Вес (кг) 80
Охлаждение
CL 5100
CL 5200/5300
воздушное
водяное <1 л/мин
Питание 220 В, 50 Гц, ≤ 1000 ВА * *
Газ 1 баллон со смесью
Управление RS 232, Windows
* – возможна работа на длине волны 157 нм
** – возможно исполнение на 110В/60 Гц, ≤ 1000 ВА