Ардис 300

Микроволновый плазменный реактор ARDIS 300.

Микроволновый плазменный реактор ARDIS 300 предназначен для осаждения из газовой фазы поли-, монокристаллических алмазов.

СВЧ- плазмохимический реактор ARDIS 300 разработан и произведен компанией «Оптосистемы» – ведущим российским производителем лазерного оборудования для медицины, науки и технологий.

Выращивание алмазов методом осаждения из газовой фазы позволяет получить алмазы заданных размеров, особой чистоты, обладающие уникальным набором электронных, оптических, тепловых, механических свойств. Это обусловливает их востребованность и огромные перспективы для применения в таких отраслях как электроника, оптика, СВЧ-техника, микромеханика, обработка материалов, электрохимия.

Технические характеристики:

Мощность СВЧ источника до 6 кВт, частота 2.45 ГГц
Количество независимых газовых каналов до 5
Рабочие газы:  Н2, СН4, N2, О2,  Ar
Рабочее давление в камере (торр) 20-500
Диаметр алмазных пластин (мм) до 100  (4″)
Температура подложки (°С) до 1200

Скорость осаждения алмаза (мкм/ч)

до 100 (для монокристаллических алмазов)

до 6 (для поликристаллических алмазов)

Визуальный контроль

5 кварцевых 70 мм CF окон

Камера и подложкодержатель

водоохлаждаемая вакуумная камера из нержавеющей стали, подложкодержатель из молибдена

Дополнительные опции

Z-подвижка, двулучевой пирометр, DC Bias
Управление

операционная система Windows, процесс синтеза управляется программой Ardis Control 

Габариты (Д х Ш х В, мм)

1660 х 880 х 1840

Области применения:

Уникальные характеристики и свойства алмазов, полученных методом осаждения из газовой фазы, определяют высокий уровень спроса и их востребованность  в следующих областях:

Ювелирная промышленность

  • Установка позволяет получать алмазы ювелирного качества

Электроника

  • Элементы микроэлектромеханики
  • Радиационно-стойкие детекторы ионизирующего излучения
  • Полевые СВЧ транзисторы
  • Устройства поверхностных акустических волн

Оптика

  • Окна для мощных ИК лазеров
  • Окна в оптических приборах, работающих в агрессивных средах
  • Рамановские лазеры

СВЧ- техника

  • Окна для сверхмощных гиротронов и клистронов
  • Конструкционные непоглощающие излучение элементы

Медицина, Экология

  • Биосенсоры, биосовместимые покрытия
  • Коррозионностойкие электроды для очистки воды и электроанализа (легированный алмаз)

Ардис 300 (pdf)